ТЕХНОЛОГИИ
Всё начинается здесь. Технология – это то, с чего стартует проектирование и то, чем завершается. Результат - вакуумное технологическое оборудование. Отработанная технология стоит не меньше, чем набор комплектующих, который обеспечивает выполнение этой самой технологии.
Большинство современных компаний чаще всего спотыкаются именно о технологическую начинку проекта, а не проблемы, связанные с финансированием, текучкой персонала и прочими спутниками бизнеса.
При современном развитии САПР и клиентоориентированном подходе поставщиков комплектующих,
для инжиниринговых компаний не составляет труда собирать конструкторы из отдельных узлов. Но, чтобы оживить эти машины, нужен ещё один важный элемент. И этим элементом является технология, которая в своём высшем исполнении, действительно, едва отличима от чуда. А на него способны уже далеко немногие. Одно дело - относительно несложные машины для создания и поддержания вакуума, и другое дело - технологические установки, связанные с термообоработкой и уж тем более с напылением тонкоплёночных покрытий методами PVD или CVD.
Обсуждение технологии вакуумной машины - то, с чего мы начинаем работу с Заказчиком.
И отработанной технологией мы завершаем проект. Работая с нами, вы никогда не получите полуфабрикат из недовоплощённых идей - мы гарантируем контролируемый и прогнозируемый результат.
Далее мы кратко познакомим вас с наиболее ответственными и важными вакуумными технологиями, с которыми мы работаем и предлагаем как в составе вновь создаваемого оборудования, так и в комплекте услуг по настройке и отладке вашего оборудования
(в том числе поставленного другими подрядчиками):
Зеркала, фильтры разного рода, просветление оптики, ИК-УФ-защита и многое другое - оптические технологии создают принципиально новые устройства и являются наиболее коммерциализованными среди напылительных процессов.
Методы напыления:
- Термическое испарение - резистивное или электронно-лучевое
- Ионно-плазменное распыление - магнетронное или ионно-лучевое
- Оптический контроль на пропускание/отражение InSitu
- Кварцевый контроль скорости потока частиц
- Контроль газовой среды - залог повторяемости стехиометрии (оптический контроль плазмы, контроль поддержания давления)
- Высокие требования к равномерности - менее 1% по толщине
Основная задача - напыление проводящих покрытий типа Cr-Ni-Cu и подобных. Ключевые технологии современного приборостроения в области микроэлектроники (в том числе работа с популярным типоразмером подложек 60х48 мм из ситалла или поликора).
Методы напыления:
- Термическое испарение - резистивное (в том числе бункерное), электронно-лучевое
- Ионно-плазменное распыление - магнетронное
- InSitu контроль сопротивления подложки
- Кварцевый контроль скорости потока частиц
- Контроль газовой среды - залог повторяемости стехиометрии (оптический контроль плазмы, контроль поддержания давления)
Это кластер технологий для напыления функциональных покрытий для задач повышения износостойкости, коррозионной стойкости, стойкости к эрозии, уменьшения коэффициента трения, а также декоративные покрытия на различные изделия. Инструмент (свёрла, резцы, фрезы, штампы и многое другое), оснастка, подшипниковые опоры и узлы трения спецназначения - далеко не полный перечень для применения этого класса покрытий.
Методы напыления:
- Термическое испарение - резистивное (ограниченные технлогические возможности, но незаменимые для некоторых задач)
- Ионно-плазменное распыление - магнетронное и дуговое
- Обеспечение адгезионной прочности (потенциал смещения, несбалансированность магнетронных источников)
- Контроль газовой среды - залог повторяемости стехиометрии (оптический контроль плазмы, контроль поддержания давления)
- Сложные технико-коммерческие условия, требующие массовости для обеспечения эффективности применения
Изготовление сенсоров, геттерных или излучающих структур, функциональные слои для обеспечения магнитных свойств, проводимости или сопротивления, в том числе полупроводниковые структуры. Приборостроение - это большой спектр покрытий. Причём зачастую мы не просто модифицируем изделие, а создаём принципиально новое устройство.
Методы напыления:
- Термическое испарение - резистивное, электронно-лучевое, ячейки Кнудсена
- Ионно-плазменное распыление - магнетронное, ионно-лучевое
- Требования к глубине вакуума
- Обеспечение адгезионной прочности - использование различных структур материалов
- Стехиометрия покрытий, обеспечивающая требуемые свойства
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА В ВАКУУМЕ
Термообработка в вакууме - это комплекс технологий, оборудование для реализации которых встроено в технологические цепочки большинства современных производств. Мы предлагаем проработку следующих тех.процессов: пайка изделий в вакууме, дегазация образцов, переплав металлов, отжиг и спекание, а также CVD процессы.
Методы и оборудование:
- Низко-температурные (до 600С), среднетемпературные (до 1300С) и высокотемпературные
- (свыше 1300С) термические машины.
- Резистивный нагрев - нихром, фехраль, молибден, вольфрам.
- Требования к глубине вакуума - например, для пайки электронных изделий по ГОСТу давление в процессе не должно превышать 10(-4) мм.рт.ст
- Отсутствие дегазации со стенок - окисление гарантировано при наличии источников кислорода или паров воды.
- Оптимальные ТТХ машины с точки зрения мощности нагрева/тепловых потерь.
- Различные типы камер в зависимости от задачи а) с горячими или холодными стенками (экранная изоляция) б) из нержавеющей стали или кварцевые реторты.
Обработка в газовой среде находится немного в стороне от вакуумной в силу того,
что существенно изменяется теплообмен в технологической камере при работе с газом.
При этом оборудование в целом может быть использовано то же самое, но со своими нюансами.
Пайка твердыми и мягкими припоями была бы невозможна без термообработки в газовых средах.
Методы обработки:
- Инертная среда - аргон, азот.
- Активная среда - формир-газ, водород, муравьиная кислота.
- БЕЗОПАСНОСТЬ - механические блокировки и специальные алгоритмы системы управления оборудованием
- Повышенные требования к мощности нагревательной системы по сравнению с вакуумными задачами
